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ISO14644
洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级
ISO等级序数(N)
大于或等于表中所示粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO 1级
10
2
ISO 2级
100
24
10
4
ISO 3级
1000
237
102
35
8
ISO 4级
10000
2370
1020
352
83
ISO 5级
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO 6级
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO 7级
352000
83200
2930
ISO 8级
3520000
832000
29300
ISO 9级
35200000
8320000
293000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

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